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熱式氣體質量流量計是利用熱傳導原理測量流體流量的儀表。該儀表采用恒溫差法對氣體流量進行準確測量。具有體積小、數字化程度高、安裝方便、測量準確等優點。其中傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成。采用橋式環路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器維持高于流體溫度的恒溫差，可在高溫和高壓條件下進行流量測量。

熱式氣體質量流量計的優點：真正的質量流量計，對氣體流量測量無需溫度和壓力補償，測量方便、準確。可得到氣體的質量流量或者標準體積流量。寬量程比，可測量流速高至100Nm/s底至0.5Nm/s的氣體，可以用于氣體檢漏。抗震性能好使用壽命長。傳感器無活動部件和壓力傳感部件，不受震動對測量精度的影響。安裝維修簡便。在現場條件允許的情況下，可以實現不停產安裝和維護。數字化設計。整體數字化電路測量，測量準確、維修方便。采用RS-485通訊，可以實現工廠自動化、集成化。