日本新宇宙XP-703D半導體材料氣體*,zui適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測。通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。
日本新宇宙XP-703D半導體材料氣體* 產品特點
zui適用于半導體材料氣體的超微量泄漏檢測。
通過報警燈及蜂鳴器即可得知氣體泄漏。
日本新宇宙XP-703D半導體材料氣體* 參數規格
型號 | XP-703D | ||||
檢測原理 | 型半導體式 | ||||
檢測對象氣體 | 半導體材料氣體(砷化三氫、*、乙硼烷、硅烷等) | ||||
能檢測的泄漏量 能檢測的濃度 | 砷化三氫 AsH3 1.0×10-7 0.2 | * PH3 1.5×10-7 0.3 | 乙硼烷 B2H6 0.5×10-7 0.1 | 硅烷 SiH4 2.5×10-7 0.5 | 氫氣 H2 5×10-7 Pa·m3 /s 1.0 ppm |
應答時間 | 10秒 | ||||
檢測表示 | 蜂鳴器發出斷續音且報警燈閃爍 | ||||
電源 | 5號錳干電池4節 | ||||
電池使用時間※1 | 使用堿性干電池使用約9小時(使用錳干電池約3小時) | ||||
使用溫度范圍 | 0℃~40℃ | ||||
外形尺寸 | W68×H155×D32mm | ||||
重量 | 約400g(包括電池) |
日本新宇宙XP-703D半導體材料氣體* 配件
附件 皮套、吸引過濾器、過濾片、檢查氣體、標準輔助橡膠管、5號錳干電池4本
另售的選購品 Ni-Cd電池充電器、耳機
※1 也可使用堿性干電池、Ni-Cd電池。
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