量程0-0.5SCCM到0-500SLPM,200:1的量程比，內置98種氣體，100ms快速響應時間，優于1%的精度

美國ALICAT 21W系列低壓降質量流量控制器，采用技術的內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。所有Alicat質量流量控制器均具有NIST可溯源校準證書。Alicat的21W系列數字式質量流量控制器具有超低壓損，滿量程壓損zui低可達360Pa。21W系列可用于快速精確地測量過程氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合，尤其是要求低壓損的應用場合。

產品特點 ：
● 數字化產品
● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等
● 多參數可控：質量流量、體積流量和壓力
● 可選高精度：可優于0.5%
● 高量程比 200:1
● 滿量程超低壓損zui低為360Pa
● 閥門響應時間快 僅需100ms
● 內置98種氣體
● 可現場標定混合氣體（zui多5種成分），并存儲20種混合氣

技術參數 ：

介質要求：非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質種類：內置了98種氣體，請參考“產品資料下載”中氣體兼容表

一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量程：從0-0.5SCCM 到 0-500SLPM（詳情請咨詢）

量程比：200:1

zui大顯示流量：102.4%FS

顯示屏：帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式：同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-讀數 FS-滿量程

高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，選配

僅適用于量程為5SCCM-500SLPM的設備

重復性：± 0.2% FS

零點漂移&滿量程漂移：0.02% FS / ºC / Atm

響應時間：100ms(可調) 預熱時間：<1s

標定工況：25ºC & 100kPa 絕壓、20ºC & 100kPa 絕壓、0ºC & 100kPa 絕壓 (三種工況現場可切換)

工作溫度：-10 ～ +50 ºC

工作濕度：0-*,無冷凝

標準zui大工作壓力：0.3MPa 表壓

標準極限耐壓：1.2MPa 表壓

中壓選項：2MPa

數字輸入/輸出信號：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模擬輸入/輸出信號：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可選第二路模擬輸出：質量流量或體積流量或壓力或溫度

供電電壓：7-30 Vdc (如選4-20 MA輸出，須為15-30 Vdc)

供電電流：250mA ～ 750mA

電氣接口：8針Mini-DIN或DB9或DB15或6針工業接頭

材質：302不銹鋼、Viton、硅膠RTV、玻璃增強尼龍、鋁

黃銅、430FR不銹鋼、硅、玻璃、416不銹鋼

安裝方式：對位置無要求 防護等級：IP40

* 如選Profibus，則無模擬信號，無顯示，其供電電壓及

供電電流需咨詢我們

產品選型 ：

選項及配件 ：

●標準性能
多功能數字顯示屏
顯示多種測量參數：質量流量、體積流量、溫度和壓力
超低壓損
無需預熱
Viton密封
8針Mini-DIN電信號接口
標準圓形電源接口
RS-232多點式數字輸出
RS-232多點式數字輸入 (僅用于質量流量控制器)
0-5Vdc、0-10Vdc或1-5Vdc 多種模擬信號輸出可選
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA模擬信號輸入可選 (僅用于質量流量控制器)
可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
內置30種氣體可選
200:1 量程可調比
NPT接頭
可測量和控制從0.5SCCM到500SLPM的滿量程的任何流量
有條件的終身質保
●可選性能
高精度
累加器
6針、DB9或DB15電信號接口
ProfiBUS數字信號輸出
ProfiBUS數字信號輸入(僅用于質量流量控制器)
RS-485數字信號輸出
4-20mA模擬信號輸出
第二種模擬信號輸出 (僅用于質量流量計)
TFT背光彩色顯示屏
遠程顯示屏
遠程TFT背光彩色顯示屏
丙烯酸絕緣涂層
EPDM密封
NeSSI本體
氧氣清潔
用于高溫環境的遠程電子包裝
SAE接頭
VCR、VCO 接頭
5VDC、12VDC、24VDC排氣量報警(過高或過低)
雙向流動
額外標定點
定制混個氣體（zui多4種）
定制流量范圍
不銹鋼閥門 (僅用于質量流量控制器)
高流量低壓損閥門 (僅用于質量流量控制器)
集成式電位計控制 (僅用于質量流量控制器)

應用及案例 ：

● 低溫容器檢測
● 大學/研究所
● 泄漏檢測
● 環境監測
● 汽車制造
● 過程工藝氣體測量

認證證書 ：