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FRT薄膜厚度測量儀采用膜層厚度測量傳感器，非接觸測量表面膜層，測量范圍從10nm--250um，廣泛應(yīng)用于半導體晶片、光學鍍膜加工、漆膜、氧化表面層測量。
FRT薄膜厚度測量儀
薄膜層厚測量傳感器 FTR
薄膜層厚測量傳感器FTR為的膜層測量儀器，通過于MicroProf型MicroGlider 型結(jié)合使用，可應(yīng)用于各種高精度的測量場合，其層厚分辨率可達1nm；非接觸無損測量更拓寬了其應(yīng)用場合；如光學鍍膜加工（膜層厚度、消光系數(shù)等參數(shù)）；半導體硅片表面膜層分析；氧化表面微細分析、漆膜等等
薄膜層厚測量傳感器FTR技術(shù)參數(shù)：
測量原理 | 反射測量（非接觸） | ||||
光源 | 鹵素燈 | 氚-鹵素燈 | |||
波長范圍 | 400—850nm | 650—1100nm | 400—1100nm | 250nm—850nm | 250—1100nm |
層厚測量范圍 | 50nm-20um | 70nm-70um | 50nm-100um* | 10nm-20um | 10nm-70um |
層厚分辨率 | 1 nm | ||||
X,Y軸分辨率 | 0.1um | ||||
注：*----可選1um—250um
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