《藥品GMP指南 廠房設施與設備分冊》提出：可以周期性地也可以連續地使用臭氧消毒。
ozonia®membrel® MklV是新一代運用固態高分子電解質和電子設備的電解式臭氧發生器。ozonia®membrel® MklV電解工藝是利用水，而非氣態空氣或氧氣制備臭氧的工藝。
工作原理：
原水取自超純水回路，進入反應單元的陽極室，在陽極和電化穩定膜之間的接觸表面被分成兩種成分。氫質子進入膜，在陰極一側被壓縮為氫氣后釋放到大氣中，而在陽極一側的自由氧則轉化為臭氧，溶解到水中離開反應單元的水／氧氣／臭氧混合物重新投加到循環回路中。裝置是超純水/純化水消毒的手段。因為臭氧利用待處理水制備，整個過程減少污染生成，無需使用化學藥劑或其他額外的處理手段。若工藝中不再需要臭氧，可在處純水使用點前安裝紫外式臭氧破壞器。
特征：
易升級：3g O3 /h 到 9g O3 /h
純水是臭氧生成的重要原料
為持續消毒提供不間斷穩定的臭氧濃度
水循環消毒方便
效率提高，成本減少，減少能耗
遠程控制
低離子污染，殘留少
易于安裝的一體化維護系統
用于工業和制藥行業超純水回路的消毒方式：
純水&超純水
凈化水&高凈化水
注射用水
應用領域：
● 制藥、化妝品
● 電子半導體
● 罐裝水車間
● 冷卻塔
● 水產養殖
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