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SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過程壓力真空計

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詳細信息 在線詢價

好處

  • 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
  • 電源接通后快速穩定
  • 暴露于大氣壓后快速恢復
  • 防腐陶瓷傳感器
  • 的*信號穩定性
  • 溫度補償
  • 傳感器防污染雙層保護
  • 一鍵調零功能
  • 電源范圍廣
  • 2 個設定點
  • RS232 接口
  • Remote zero included
  • 符合潔凈室標準
  • Status LED

典型應用

  • 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導體生產設備
  • 數據存儲和顯示制造設備
  • 工業真空設備
  • 常規高精度壓力測量

規格

類型 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
溫度效應          
零點 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
滿量程 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
壓力,大 kPa (absolute) 300 200 200 200 130
反應時間 (2) ms ≤100 ≤100 ≤100 ≤100 ≤100
低讀數 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
建議的低讀數 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
建議的低控制壓力 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
溫度          
運行(環境) °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
在法蘭處烘烤 (4) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
貯存 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
電源電壓 V (dc) +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27 +21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101          
Signal range mA 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2 3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS) mA 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0 4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure linear linear linear linear linear
Loaded impedance RL          
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695 typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4) typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4) 309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input          
High level +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA +21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level V (dc) ≤2
Remote zero function          
High level (pulse >1s) auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust auto zero adjust
Low level measurement operation measurement operation measurement operation measurement operation
保護等級 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
標準          
CE 合規 EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 認證 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable          
Without remote zero two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
內部容積          
內部容積 1/2'' 管 cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內部容積 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內部容積 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
內部容積 8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
重量          
重量 1/2'' 管 g 310 310 310 310 310
重量 DN 16 ISO KF g 330 330 330 330 330
重量 DN 16 CF-R g 350 350 350 350 350
重量 8 VCR® g 370 370 370 370 370

(1) 25 °C 環境溫度時非線性、滯后、可重復,運行 2 小時后不產生溫度效應。

(2) 增加 10 ...90 % FS

(3) 僅適用于壓力控制類型

(4) 非運行

(5) 18% 鉻、10% 鎳、3% 鉬、69% 鐵

CDG025D-X3 4-20mA Current Loop

數據表

手冊

手冊

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