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108 AUTO/SE 離子濺射儀

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品牌CRESSINGTON 108 Auto SE是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜

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品牌CRESSINGTON
108 Auto SE是一款結構緊湊的桌上型鍍膜系統,特別適用于掃描電鏡成像中非導電樣品高質量鍍膜。
主要特性
一、自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。
二、通過高效低壓直流磁控頭進行冷態精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
三、操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
四、在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程。可通過數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,
五、通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
六、可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
七、數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
八、可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
技術參數
濺射系統
樣品室大小
直徑150mm x 165mm 高 (4.75 x 4.75")
高度可變165mm-250mm
靶材
Au 靶為標配, Au:Pd, Pt, Pt:Pd (選件);大小:直徑57mm x 0.1mm厚
樣品臺
可以裝載12個SEM樣品座,高度可調范圍為60mm
濺射控制
微處理器控制,安全互鎖,可調,大電流40mA,程序化數字控制
濺射頭
低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環繞暗區護罩
模擬計量
真空: Atm - 0.001mbar,電流:0-50mA
厚度監控
(
選件)
使用MTM-20高分辨厚度控制儀(選件)自動終止濺射過程,或使用MTM-10高分辨厚度監控儀(選件)手動終止濺射過程
控制方法
自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數字定時器(0-300s),自動放氣
真空系統
真空泵
2級直連式高速真空泵
抽氣速率
3.0 m3/小時 ,真空度到 0.1mb所需時間30秒
桌上系統
真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統
可選附件:
一、膜厚測控儀
膜厚控制儀MTM-20
性能
基于微處理器,4位數字顯示,復位按鈕, 6MHz晶體(具有壽命檢查功能),5次/s的更新速率
膜厚范圍
0.0 - 999.9nm
分辨率
優于 0.1nm
密度范圍
0.50 - 30.00gm/cm3
修正系數范圍
0.25 - 8.00
鍍膜終止范圍
膜厚0 - 999.9nm
二、R-P-TRotary-Planetary-Tilting)樣品臺
樣品臺可旋轉,可傾斜,適合多角度樣品。

銅網鍍碳制成負染色蛋白質樣品案例


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