SIMS 工作站（SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility） ，綜合UHV / SIMS 設備，進行高級的表面分析。可靠的、普遍適用的SIMS分析工作站。

·整合的離子源，便于RGA和SNMS

·各類型樣品的快速轉向

·陰、陽離子、中性粒子、自由基的質量、能量分析儀

·整合的離子槍光柵控制和信號選通，進行深度分析
·絕緣體研究中的電子流槍用于電荷中和
·液氮冷井和真空室烘烤加熱器
·自動的SIMS 離子光學透鏡調諧和質量數列表，使SIMS性能

Hiden EQS SIMS 分析儀，運行于 MASsoft O/S 之下，檢測限至ppb級

·基本的激發源選擇： 帶差式泵的Hiden IG20 Ion，IFG200 FAB或高性能液態鎵槍
·快速樣品傳遞，樣品固定，負載鎖定的操縱器
·4 軸：X, Y, Z, θ UHV 操縱器，定位樣品
·加上ESM LabVIEW和SIMS 成像程序，進行SIMS元素成像
·靜態SIMS譜圖庫可用