Chuck（可選）

4" 、6"或8" 不銹鋼，真空吸附型，獨立開關控制

Chuck X-Y軸行程，精度

4"x4"、6"x6"、8"x8"，10um

Chuck 旋轉角度

0~360°

Chuck 旋轉角度微調精度

0.01°

Chuck快速升降（選配）

4mm

Chuck微調升降（選配）

4mm ，1um精度

Chuck 平整度

5um

針座平臺

U型設計，可放置8個MP-80M型針座，可擴展為O型平臺

針座平臺平整度

5 um

需求

電力

220 VAC, 50Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

PXN-100

320mm長*320mm寬*450mm高（帶顯微鏡）

PXN-150

630mm長*460mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

PXN-200

750mm長*555mm寬*600mm高（帶顯微鏡）

可選附件

加熱臺

防震桌

射頻測試探頭和線纜

有源探頭

低電流/電容測試

高壓測試

CCD視頻系統

液晶漏電分析套裝

屏蔽箱

鍍金Chuck