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MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡（LC-SEM），是目前世界上zui大的掃描電鏡，同時裝備多種不同的探測設備（背散射電子成像、EDS、EBSD、FIB、FT-IR）來滿足各種需求。不僅可以檢查大型零部件的物理特性，還可以評價原材料的化學和結晶體特性。幾乎對任何樣本都可實現非常準確的，直到在分子層面的一站式檢查和分析。
MIRA 超大試樣室掃描電子顯微鏡 （LC-SEM）
| LC-SEM試樣室有 3 m3、9 m3、12 m3 三種型號，可觀察zui大試樣尺寸：直徑1500毫米、高度1500毫米。真空系統裝配有強大的三個真空泵：旋片和轉子泵應用于低真空，渦輪增壓泵應用于高真空，可實現 10 -6 mbar的高真空。該系統有足夠的能力，除去腔室中試樣的氣體，在45分鐘內便可以實現所需的真空度。腔室設置有多層墻體保證了不受任何外部磁場的影響。 |
當一個人觀察一個小的對象時，會在手中扭轉對象，人眼-可視化系統是固定的。當觀察一個更大的物體時，人會在物體周圍左右移動，以便*觀察它。*種情況是類似于標準SEM的情況，而后者則反映了LC - SEM的情況。LC -SEM 配備了定位系統，配備有一個5 +1旋轉軸系統，電子搶、相機和各種探測器都懸掛在旋轉軸上，zui初是利用遠程控制來調整軸的角度和高度，使柱體的*位置相對迅速接近樣品的重點區域，再通過計算機控制移動電子槍和探測器以及完整的光學系統，可以滿足從不同角度的視角觀察。在研究過程中，還可以進行修改以便優化信號接收。并且還可以移動試樣，這樣*地減少了試樣裝載次數。 四個電腦顯示器通過探測器跟蹤柱和樣品的運動以及觀察試樣表面特性和分析化學信息，軟件、電氣和機械接口通過一個單一的終端控制。
| 應用行業
| 應用領域
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LC-SEM 技術規格參數
LC-SEM用戶
德國不來梅大學 Universität Bremen
德國漢諾威大學 Umiversitat Hannover
德國亞琛工業大學 RWTH Aachen University
德國埃爾蘭根—紐倫堡大學 Friedrich-Alexanqder-Universität Erlangen-Nûrnberg
德國多特蒙德工業大學 TU Dortmund
德國不倫瑞克工業大學 Technische Universität Braunschweig
日本宇宙航空研究開發機構（JAXA）
美國NOVA無損檢測中心 設在西肯塔基大學 Nondestructive Analysis （NOVA） Center美國能源部國家核安全管理局的機構 Y-12 National Security Complex
美國*裝備部 延克*基地材料實驗室 Tinker AFB Materials Laboratory
| 電子光學 | |
| 分辨率 | 優于10納米 |
| 放大倍數 | 10x – 300,000x |
| 加速電壓 | 0.2 – 30keV |
| 探測器 | 二次反射通道倍增電子探測器 四象限背散射電子探測器 |
| 分析能力 | 能量色散X射線光譜儀（EDS） |
| | 電子背散射衍射（EBSD） |
| 附加功能 | 聚焦離子束（FIB） |
| | 傅立葉變換紅外光譜儀（FT - IR） |
| | 內部攝像系統 |
| 圖像處理 | |
| 軟件 | MIRA控制系統 |
| 硬件 | 個人電腦，顯示器和打印機 |
| 真空系統 | |
| 低真空泵 | 旋片泵，65立方米/ h |
| | 旋轉式轉子泵，400立方米/小時 |
| 高真空泵 | 渦輪泵2400升/秒 |
| 極限真空 | 直至45分鐘后10-6毫巴 |
| 真空室 | 3 m3; 9 m3; 12 m3 |
| 標本 | |
| zui大尺寸 | 高達直徑1500毫米，高度1500毫米 |
| zui大質量 | 300 kg, |
| 定位系統 | |
| 軸 | 5 +1微步控制軸系統 |
| 重復精度 | ±50 μm |
| 定位范圍 | |
| X-軸 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
| Z-軸 | 600mm, 1000mm, 1500mm |
| A-軸 | 90° |
| B-軸 | 135° |
| C-軸 | 360° |
| D-軸 | 350° |
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