實驗室及小批量生產用小型光刻機平臺蘇斯公司的MA/BA4代系列是一代的半自動光刻和鍵合對準機，并引進了新的平臺系統

實驗室及小批量生產用小型 光刻機平臺

蘇斯公司的 MA/BA 4 代系列是一代的半自動光刻和鍵合對準機，并引進了新的平臺系統。新平臺主要是配置不同。它由標準款 MA/BA 4 代與用于工藝的擴展 MA/BA 4 代專業款組成。

基礎款有 MA/BA6 4 代和 MA/BA8 4 代兩種。此掩模和鍵合對準機的設計符合人體工程學，用戶界面友好，成本低，占用面積小，于學術研究及小批量生產使用。

蘇斯的 MA/BA 4 代系列為學術研究、微機電系統/納米機電系統、3D 集成和化合物半導體全光刻領域樹立了新的標準。另外，它還能夠支持鍵合對準、熔接鍵合及 SMILE 壓印工藝。在 MA/BA 4 代系列上開發的工藝可以快速地轉化為自動化掩膜對準機大批量生產工藝。

高精度產生工藝成果

MA/BA 4 代系列高度自動化，工藝成果更優異。恒量模式、自動控制曝光時間、自動對準等功能為工業參數優化提供了更好的支持。此外，MA/BA 4 配置了高質量的光學系統 MO Exposure Optics，曝光條件更優異。的機制使校準精度更高。采用上、下面顯微鏡單元（TSA和BSA）設計方式，不再像TSA顯微鏡那樣需要大距離移動，從而避免了震動。

操作舒適性

配方編輯、數據記錄功能，以及可分配使用權限，減輕了操作員的工作負擔，同時減少了錯誤源。MA/BA 4 代平臺還采用了的數碼顯微鏡和攝像系統，可從顯示屏上顯示更高質量的圖像，視野更大，從而使校準工作更為便捷。

環境保護及勞動保護

MA/BA 4 代系列可選配節能 LED 燈裝置，可大大降低運營及維護成本，同時提供更好的環境保護及勞動保護。相比，水銀蒸汽燈很昂貴，一旦廢舊，需要作為特殊垃圾處理。該設備具有更好的安全防護設施，包括紫外照射防護、安全鎖、防夾裝置等，可滿足更高的安全要求。

性價比

MA/BA 4 代系列的擁有成本吸引力的地方在于占地面積小，同時工藝技術多樣。其中，如果選配了節能LED燈，更能節省了運營和維護成本。設備結實耐用，各種操作元件、可更換部件都容易接觸，加上采用 LED 光源，蘇斯公司的 MO Exposure Optics MA/BA 4 代平臺極大降低了維護成本。此外，還可以通過遠程訪問設備，識別及解決出現的故障，這又可以省下很多成本。

晶圓與晶圓之間對準、熔接鍵合、壓印光刻等都是可選配加裝的其他功能。