EVO18是一臺高性能、功能強大的高分辨應用型掃描電子顯微鏡。系統采用多接口的大樣品室和藝術級的物鏡設計，提供高真空成像功能，可對各種材料表面作分析。并且具有業界的X射線分析條件，樣品臺為五軸全自動控制。標準的高效率無油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換成像分析。
技術參數：
| 分辨率： | 3.0nm@ 30KV(SE and W) | 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) |
| 加速電壓 | 0.2—30KV | |
| 放大倍數 | 5—1000000x | |
| 探針電流 | 0.5PA-5μA | |
| X-射線分析工作距離 | 8.5mm 35度接收角 | |
| 低真空壓力范圍 | 10—400Pa （選配10-750Pa、LS10:環掃模式10-3000pa） | |
| 工作室 | 365mm(φ)×275mm(h) | |
| 5軸優中心自動樣品臺 | X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°(連續） | |
| 較大試樣高度 | 145mm | |
| 大試樣直徑 | 250mm | |
| 系統控制 | 基于Windows 7 的SmartSEM操作系統 | |
| 存儲分辨率 | 32,000 x 24,000 pixels | |
產品應用：
◆掃描電鏡(SEM)廣泛地應用于金屬材料(鋼鐵、冶金、有色、機械加工)和非金屬材料(化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維)等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。
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