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TMC 有源磁場抵消系統 Mag-Netx
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    pdf
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    2020年04月20日
關鍵詞
法拉第籠,隔磁系統,電鏡隔磁
上傳者
青島森泉光電有限公司
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資料簡介

  Mag-NetX 主動式消磁框架系統,設計用于任何帶電束儀器,是一種創新的主動控制系統,可補償磁場波動。通過帶數字接口的模擬控制器,Mag-NetX具有更實時的消振和連續監控功能,同時為用戶提供了一個簡單的內置LCD或基于PC的圖形用戶界面(GUI)。通過連續監控GUI顯示的測量字段,可在不依賴于顯微鏡圖像的情況下進行微調。另外,自動調整使典型SEM應用的啟動變得更加簡單。
 
  在電鏡的工作環境里,不可避免的會遇到附近的儀器設備、電梯、輸電線、地鐵等所產生的電磁場,從而影響到電鏡的成像質量和測量精度。Mag-NetX 主動探測儀器周邊的磁場環境,實時產生一個等量且反向的磁場。Mag-NetX 是一個quan方位的 3 軸磁場消除系統,包含一個具備自動校準和自檢功能的控制器,交流和直流磁傳感器,一個框架結構的亥姆霍茲線圈。這樣的框架結構可以提供*的磁場隔離對稱性和均勻性。
 
  Mag-NetX 主動式消磁框架系統的框架可以根據儀器規格、現場情況、客戶要求等設計制作成不同的尺寸。可以滿足您的掃描和透射顯微鏡、電子束光刻和離子束儀器在磁場補償和振動控制方面zui苛刻的要求。
 
  特點:
 
  帶數字接口的模擬控制器 -亥姆霍茲型線圈的模擬控制可以實現精確的實時消振。LCD面板為用戶提供易讀的LCD讀數或基于PC的圖形用戶界面(GUI)。
 
  現場調整的靈活性 -在啟動時針對典型環境和應用進行自動調整。
 
  連續的磁場監控和隔離
 
  動態 100 us響應
 
  AC 和 DC 磁場隔離模式
 
  通常可改善環境磁場 100 倍
 
  輔助輸入數字式前饋
 
  自檢索自適應模式,“開機后自適用”
 
  多種尺寸和安裝方式:落地籠式框架
 

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