高精度三維移動平臺_國產1、參數：1）規格參數：尺寸: 長1000 mm ；深 900 mm； 高 800 mm 2）掃查范圍: x direction 700 mm； y direction 700 mm z ；direction 750 mm 3）速度: maximal 7mm/s （100%） ；minimal 0,1 mm/s （1%） 4）定位重復性: x direction 10 µm ；y direction 10 µm ；z direction 10 µm 5）角度掃查范圍: Angle Scan range: 0-180 ° 6）滿足標準: Standards: IEC 61847 、IEC 62127-1 IEC 60601-2-622、參考型號、公司： ATP-103、配件：出廠配件，說明書、合格證等4：具有資質的公司出具的校準證書