三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...)，三維粗糙度(Sa,Sq,Smax)，劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力(曲定量率半徑法)等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將輪廓儀帶入了另一個高精度測量的新時代。

1、常規的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的*結合
2、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區域三維測圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
4、在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
5、針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（zui?。?１nm ）
6、軟件設置恒定微力接觸
7、簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面

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