Rtec公司的WLI1000白光干涉儀測量系統沿著縱軸捕獲一系列位置的光強數據。通過白光干涉圖的形狀,干涉圖的局部相位或者是二者的結合來確定表面位置。本公司還有激光共焦,白光共焦,拉曼光譜儀等,可以把這些設備自由組合在一起,以實現客戶的不同需求
Vertical Resolution 垂直分辨率 | 0.1nm 0.1nm |
Turret 轉輪 | upto 6 objective turret (manual or automatic) 6鏡頭轉輪(自動或手動) |
Scan Range 掃描范圍 | Up to 150mm x 150mm zui高達150mmx150mm |
Sample thickness 試樣厚度 | upto 100mm zui高達100mm |
FOV 視場 | upto 10mm zui高達10mm |
Objectives 物鏡 | 10x,50x 10倍,50倍 |
Z focussing range Z軸方向聚焦范圍 | 0.1 nm to 10mm 0.2 0.1nm到10mm |
Scanning area 掃描區域 | 150x150mm 150x150mm |
Tilt 傾斜角 | +/- 7 degree +/-7度 |
Rotation (theta) 平臺旋轉范圍 | 360 Degree 360度 |
Pixel 像素 | Standard 1024 x 1024 標準1024x1024 |
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