X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD：采用新開發的雙模式分析器，從數秒至數十秒的時間內得到數µm以下的高分辨元素象、化學狀態象，是真正的成象XPS。

X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD特點
 空間分辨率小于3μ_m
• 可集成多種分析技術
• 延遲線探測器（DLD）系統
• 平行成像和微區譜圖

X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD技術參數

●圖像分辨率（邊緣分辨率） 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11，800kcps / 110μmΦ 1，800kcps
27μmΦ 100kcps / （Ag3d5/2、450W）
●zui小分析直徑（收譜分析） <15μmΦ