2006年12月一推出多功能平臺聚焦掃描微區Ｘ射線光電子能譜儀，立刻受到高校科研單位歡迎。國內用戶有 南京大學分析中心 上海師范大學 天津46所。

產品介紹

儀器簡介：

2006年12月一推出多功能平臺聚焦掃描微區Ｘ射線光電子能譜儀，立刻受到高校科研單位歡迎。

國內用戶有   南京大學分析中心    上海師范大學   天津46所

技術參數：

3、儀器主機功能與附件功能 
3.1 單色化XPS，Al Kα，包括： 
大面積XPS、小面積XPS、成像XPS、深度剖析XPS和角分辨XPS。 
3.2 雙陽極XPS，Mg/Al Kα 
3.3 紫外光電子能譜，UPS 
3.4 高壓反應室 
3.5 分析室樣品冷/熱臺 
4、儀器主要部件 
4.1 超高真空分析室 
180度半球能量分析器， 
電子透鏡傳輸系統， 
１６多通道電子檢測器 
分子泵，離子泵，鈦升華泵 
單色化XPS （AlKα）系統，含內循環水冷卻裝置， 
XPS成像系統， 
雙陽極XPS系統，冷卻循環水和單色化系統共用 
紫外光源， 
荷電中和系統，用于絕緣樣品或導電性差的樣品的荷電補償， 
5軸樣品臺， 
標準樣品托 ２個 
Recessed樣品托 1個 
氬離子槍，用于深度剖析， 
熱雙燈絲離子規， 
閉路電視顯微彩色攝像系統和SXI成像系統， 
分析室和進樣室都有獨立光纖照明系統， 
可觀察視窗，視窗直徑10cm左右, 
樣品熱/冷臺,溫度可監測。 
4.2 樣品進樣室 
機械泵，分子泵 熱雙燈絲離子規, 
可觀察視窗，視窗直徑10cm左右。 
空氣壓縮機一臺，國內采購 
4.3 石英高壓反應池 
程序控溫系統 
真空監測系統 
真空泵系統 
進出氣系統,參考南京大學用戶設計建議。 
壓力 一個大氣壓 
全石英底座 
密封材料 Byton O-ring 
溫度 600度 
遠紅外線加熱控溫系統 
單獨石英反應器冷卻系統 

4 樣品磁耦合傳輸系統 
4.5 真空烘烤系統 
4.6 主機系統集成，減震裝置。 
4.7 計算機系統，含數據采集和數據處理軟件包。 
4.8 與以上所有系統相關聯的電子學控制柜。 

5、儀器主要技術參數與要求 
5.1 儀器主機功能，單色化Al Kα 
5.1.1 大面積XPS 
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤1.00eV時，靈敏度≥1,000,000 cps。 
Ag3d5/2，1400umx100um, FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥250,000 cps。 
5.1.2 小面積XPS，小分析面積≤10μm ，性能指標應達到： 
Ag3d5/2，20μm， FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥15,000 cps。 
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤0.60eV時，靈敏度≥4,000 cps。 
Ag3d5/2，10μm， FWHM≤1.00eV時，靈敏度≥12,000 cps。 
Typical value for 100um and 20um at 75degree and 45degree 
75degree 
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV時,靈敏度≥ 99kcps 
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV時,靈敏度≥ 47kcps 
45degree 
Ag3d5/2，20μm , FWHM≤0.90eV時,靈敏度≥ 50kcps 
Ag3d5/2，100μm , FWHM≤0.90eV時,靈敏度≥ 27kcps 
5.1.3 成像XPS 
單色化X射線掃描成像，空間分辨率≤10 μm。 
5.1.4 深度剖析XPS 
聚焦掃描氬離子槍，當working distance為30 mm時.聚焦氬離子束斑≤150μm，當 
working distance為60mm時候，聚焦氬離子束斑≤300μm束流密度≥0.5 mA/cm2。 
5.2 儀器附件功能 
5.2.1 雙陽極XPS，MgKα，Ag3d5/2，FWHM≤1.40eV時，靈敏度≥1,000,000 cps。 
5.2.2 紫外光電子能譜（UPS） 
(a) 光源：He紫外光源，HeI:HeII=3:1 
(b) 性能指標：分辨率（Ag費米邊）≤120 meV時，靈敏度（Ag4d）≥2,000,000 cps。 
(c) 小步長：5meV 
5.2.3 高壓反應室 
(a) 材質：石英 
(b) 內膽內壓強：≥760Torr 
(c) 溫度，≥600℃ 
(d) 氣體混合倉附計量裝置，包括壓力表、流量計和針閥等。 
5.2.4 分析室樣品冷/熱臺，溫度：170 K–600 K，溫度可檢測，加熱PID控制。 
5.3 儀器主要部件參數與要求： 
5.3.1 能量分析器 
(a) 類型：半球能量分析器 
(b) XPS能量范圍： 0–1600 eV（25 meV） 
UPS ：0～320 eV（5 meV） 
5.3.2 超高真空分析室 
(a) SUS材質內表面經過特殊處理 
(b) 真空：小于6.7×10-10 mbar 
5.3.3 樣品進樣室 
(a) 材質：非磁性不銹鋼材料 
(b) 真空：小于6.7×10-9 mba 
5.3.4 深度剖析氬離子槍 
100eV–5keV，連續可調，掃描型。 
5.3.5 荷電中和系統：雙槍中和系統。 
5.3.6 樣品控制臺 
(a) 軸向：5軸， 
(b) 移動：各向移動距離必須與樣品臺尺寸相匹配，步進步長小于1μm， 
(c) 傾斜：0–90° 
5.3.7 計算機系統 
(a) Pentium IV，CPU主頻3.0GHz左右； 
(b) 內存2G, 硬盤250 G； 
(c) ２個DVD/CD-RW Combo光盤驅動器, 
(d) 22" 液晶平板顯示器； 
(e) 4個USB2.0接口； 
(f) 100M以上以太網接口，用于數據傳輸； 
(g) 預裝Windows XP正版軟件； 
( h ) 預裝儀器操作軟件和數據分析軟件（含新的XPS數據庫），附安裝軟件光盤；

多功能平臺聚焦掃描微區Ｘ射線光電子能譜儀的主要特點：

1.掃描微聚焦X-射線source

2.掃描微聚焦X-射線產生的2次電子成像SXI像和XPS成像，可以幫助客戶找到肉眼看不見的微觀缺陷。

3。可以給出10um XPS sensitivity.其他公司不能。20um 的XPS sensitivity是其他公司同類產品的1倍以上。