法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。

KLOE 微流控芯片光刻機(jī)/曝光機(jī) UV-KUB系列

圖片

簡(jiǎn)介

法國(guó)KLOE公司在光刻方面有著豐富的經(jīng)驗(yàn)，其研發(fā)的UV- KUB系列光刻機(jī)是一種基于UV LED的曝光機(jī)系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)緊湊，可以直接放置在實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，能夠處理大直徑4英寸的晶圓，兼容硬接觸（接觸式）或者軟接觸（接近式）工藝，可自動(dòng)調(diào)整掩膜高度以適應(yīng)不同的基板厚度，可使用365 nm或405 nm的光源，不需要預(yù)熱，也不需要單獨(dú)的冷卻單元。另外，UV-KUB系列*的設(shè)計(jì)，保證了光源的準(zhǔn)直性和均勻性，其小分辨率可達(dá)2μm，大發(fā)散角小于2°

本系統(tǒng)適用于市面上常用的光刻膠，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。

規(guī)格參數(shù)

功能圖解

UV-KUB 2型光刻機(jī)，是市場(chǎng)上一款采用UV-LED光源系統(tǒng)的光刻機(jī)，其配備了基于LED光源的光學(xué)頭，使用壽命大大提高，結(jié)構(gòu)小巧，性價(jià)比高，非常適合實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

UV-KUB 3是一款帶對(duì)位功能的UV-LED曝光機(jī)，光源為365nm，其觸摸屏和CCD相機(jī)代替了傳統(tǒng)的顯微鏡及雙筒目鏡，控制器提供了圖像捕獲、測(cè)量以及對(duì)齊坐標(biāo)的記錄等功能，可以實(shí)現(xiàn)預(yù)對(duì)準(zhǔn)，這樣，用戶再通過(guò)操作手柄便能方便的進(jìn)行終的對(duì)準(zhǔn)操作。

UV-KUB 2 

UV-KUB 3

應(yīng)用系統(tǒng)

微流控芯片

MEMS器件