等離子體/YZD08-2C艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔;儀器實現了手動,自動兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實驗 ,實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗
小型等離子體(Plasma)
等離子體/YZD08-2C技術特點:
1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。
2.儀器實現了手動,自動兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實驗
3.儀器實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗
4.無需任何耗材使用成本低,無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可
5.電容式等離子激發,處理效果均勻,激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛
6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染
7.40Khz射頻電源,自主研發質量穩定可靠,具有自動保護功能。
8.靈活的參數設置和修改功能,可適應多種處理工藝。
9.采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的精準控制和監測。
10. LED+金屬按鍵控制方式,操作方便穩定可靠。
技術規格參數
型號:YZD08-2C | 品牌:賽奧特(SAT) |
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不銹鋼/石英艙體 | Φ100 mm×L255mm |
工作氣路 | 壹路,可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 40KHz |
射頻功率 | 0-200W可調 |
控制系統 | 按鈕+單排LED顯示,實時顯示和檢測艙內真空度值 |
時間范圍 | 0—99分59秒連續可調 |
工作壓力 | 樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節 |
工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進氣壓力 | 空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V/50Hz |
整機尺寸(D*W*H) | 520X460X253mm |
重量(約) | 20Kg |
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