1、X、Y坐標(biāo):測(cè)量范圍X-200mm、Y-100mm,分度值0.001mm 2、瞄準(zhǔn)顯微鏡:升降行程120mm,立臂傾斜范圍左右各15°(分度值10'),照明光闌調(diào)節(jié)范圍Φ3mm-Φ32 mm(分度值1mm) 3、測(cè)角目鏡:角度測(cè)量范圍360°,分度值1' 4、輪廓目鏡:角度測(cè)量范圍±7°,分度值10',圓弧分劃板曲率半徑0.1mm-100mm,螺紋分劃板普通螺紋螺距 0.25mm-6mm、梯形螺紋螺距2mm-20mm 5、光學(xué)分度臺(tái):測(cè)量范圍360°,分度值1' 6、光學(xué)定位器:測(cè)頭直徑Φ3mm±0.1mm(實(shí)際直徑的極限檢定誤差不大于0.0005mm),測(cè)量力8g-14g,大測(cè)量深度15mm 7、玻璃工作臺(tái):215mm×130mm 8、頂針架:大夾持直徑Φ100mm,大夾持長(zhǎng)度當(dāng)被測(cè)件直徑≤55mm時(shí)為750mm,當(dāng)被測(cè)件直徑>55mm時(shí)為600mm 9、V型架:左V型架調(diào)節(jié)范圍前后各5mm,右V型架調(diào)節(jié)范圍向上15mm、向下3mm 10、大承載量:40kg 11、物鏡:1×、3×、5× 12、測(cè)角或輪廓目鏡:總放大倍數(shù)10×、30×、50×,物方視場(chǎng)Φ20mm、Φ6.6mm、Φ4mm,工作距離81mm、90mm、65mm 13、雙像目鏡:總放大倍數(shù)15×、42×、65×,物方視場(chǎng)Φ13mm、Φ4.7mm、Φ3mm,工作距離47mm、85mm、63mm 14、溫度要求:工作室溫度為20℃±2℃,溫度變化每小時(shí)不超過(guò)1℃,被測(cè)量件和本機(jī)溫差不超過(guò)0.5℃ 15、XY坐標(biāo)精度:用玻璃毫米級(jí)分劃尺檢定時(shí)大不準(zhǔn)確度(1+L/100)µm,L為測(cè)量長(zhǎng)度,單位為mm,分劃尺按修正表修正時(shí),X不大于0.0025mm,Y不大于0.0015mm 16、測(cè)角目鏡精度:測(cè)量角度大不確定度不大于1' 17、雙像目鏡精度:合像不穩(wěn)定性不大于0.0005mm,不正確性不大于0.001mm 18、光學(xué)分度頭精度:大不準(zhǔn)確度不大于1' 19、光學(xué)分度臺(tái)精度:大不準(zhǔn)確度不大于30″ 20、光學(xué)定位器精度:測(cè)量的不穩(wěn)定性不大于0.001mm,不準(zhǔn)確度不大于0.0015mm |