離子泵的發展史 從上世紀五十年代,由瓦里安公司首先發明的濺射離子泵問世以來,越來越多的新設計和新技術投入使用,其中大部分源自瓦里安公司,即現在的安捷倫科技。從世界上臺二極型離子泵,到三極型離子泵,再到Starcell 系列產品乃至世界聞名的VacIon Plus 產品家族等。
VacIon Plus — VacIon Plus 是安捷倫科技旗下的世界的離子泵產品家族,包括全系列離子泵、控制電源、可選配件及附件??蔀楦鞣N應用提供相應解決方案。除標準產品外,安捷倫科技還為特定應用提供包括電源及相關附件在內的專屬解決方案,以滿足用戶對起始工作壓強、離子泵工作范圍以及不同成份混合氣體等指標的特殊要求。