VertiSenseTM 掃描熱學顯微鏡通過使用特殊帶熱電偶的針尖,掃描樣品時,熱電偶的溫度,通過熱信號成像放大器,通過AFM處理,同時得到熱成像圖和形貌圖。可以得到定量溫度分布成像圖,和定性熱導率分布圖。針尖的設計,可以達到小于50nm的熱空間分辨率
1) 納米級精確的溫度測量;
2) 超高掃描熱性質的空間分辨率成像;
3)高靈敏的溫度和熱導率響應;
4)支持多種掃描模式(輕敲,接觸,峰值力等模式)
掃描熱學針尖 系統參數
Thermallatency : ~100µsec (Low ThermalMass) Input: ± 10 mV
SensorType:Thermocoupleat the tip Apex Output range: ± 10 V
TipROC : 50 nm SignalGain: 100x to 10,000x
Lateral Resolution: <50 nm in contact mode Noise: <1 nV @ 1 kHz bandwidth
TemperatureResolution: Common-mode rejection: High (>115 dB)
(i) 0.1° C (@gain100); Display: Real Time Tip Temperature
(ii) 0.01° C (@gain1,000); Adjustable: Thermocouple Calibration Range
TemperatureRange: up to 700° C
ThermalBand width: up to 30kHz (@ gain 100)
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