Model 505 包括兩個質量流量控制器(MFC)系統 – 載氣和稀釋氣。每個滲透腔的載氣流量出廠時是固定的。
§ CE-標準
§ 溫度控制精度:±0.01°C 在 110°C 時
§ 供氣范圍:PPB – 高濃度 PPM
§ 兩個獨立的滲透腔
優點:
大尺寸液晶操作屏
*腔配置容許產生多種混合標氣
三個質量流量計控制氣路,可容許兩種標氣混合稀釋
Model 505 包括兩個質量流量控制器(MFC)系統 – 載氣和稀釋氣。每個滲透腔的載氣流量出廠時是固定的。滲透腔的溫度使用以控制滲透管校準氣的滲透率,保證儀器的精度。滲透管的溫度范圍是30°C (或者是室溫上2°C) 到 110°C。載氣在滲透腔內與校準氣混合后進入混合三通。在標準模式中(見下),稀釋氣是用稀釋氣的MFC加以控制和測量,然后進入三通的另外一側。載氣和稀釋氣混合后送到分配三通留到“SPEN OUT”和“Overflow”放空。
Model 505 每一個滲透腔都有一個導流閥以切換至Zero, Cham 1, Cham 2, 或 Cham 1 + Cham 2進行選擇。稀釋氣和所選的載氣一直都通過混合三通。
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