Leitz Reference Xi – “Xi” 代表著系統具備充分的“靈活性”。 將Leitz高性能的掃描技術應用于新型Leitz Reference Xi，提供了豐富的測量選擇：從連接自動旋轉測座的HP-S-X1掃描探測系統，到配備固定式掃描探測系統HP-S-X3C 一直到HP-S-X5 HD，能夠在配備加長探針的情況下保持高精度。 在各種配置下提供一如既往的高精度 - 無論是分度還是固定式探測系統。通過配備支持多測頭的控制器，Leitz Reference Xi系列測量機還能夠配備激光掃描測頭、接觸式粗糙度測頭，實現微觀尺寸評定。這些不同形式的測頭傳感器可以通過SENMATION多測頭平臺整合在一臺Reference Xi 上隨時取用，實現在各種環境下的高精度、全自動、復合式靈活測量。