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PS4L SA-x SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái)

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半自動(dòng)探針臺(tái)采用可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座,卡盤支架,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動(dòng),光學(xué)組件,操縱器等都是可以更換的,使得 PS4L 系列探針臺(tái)以其*的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求,為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。

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SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái)產(chǎn)品描述:

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái) 采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比,SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座,卡盤支架,卡盤,顯微鏡裝置,顯微鏡移動(dòng),光學(xué)組件,操縱器等都是可以更換的,使得 PS4L 系列探針臺(tái)以其*的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求,為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案。更重要的是,PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)??筛鶕?jù)測(cè)試環(huán)境和測(cè)試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí),由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái),半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái),或者6”升級(jí)為8”,8”升級(jí)為12”,增加密閉測(cè)試倉,增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸,自動(dòng)化的程度或者測(cè)試要求發(fā)生改變時(shí),PS4L 也無需重新更換新的平臺(tái),便可用短的時(shí)效和少的費(fèi)用完成測(cè)試。

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái)

PILOT控制軟件:

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái)

SemiProb的半自動(dòng)探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作,軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life(PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)。PILOT 軟件包是一款模塊化、直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上,客戶可增添控制模塊來增加額外的功能和附件。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn),功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手。

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 可靈活改變測(cè)試尺寸
  • 半自動(dòng)測(cè)試,節(jié)省測(cè)試時(shí)間
  • 可升級(jí)為全自動(dòng)探針系統(tǒng)
  • 模塊化設(shè)計(jì),可以更換關(guān)鍵部件
  • 結(jié)構(gòu)簡潔,方便操作

應(yīng)用范圍:

  • 光伏工業(yè)
  • 材料科學(xué)
  • 光電行業(yè)
  • 失效分析
  • 通信器件測(cè)試
  • 微機(jī)電技術(shù)

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái) 技術(shù)參數(shù)(型號(hào):PS4L SA-4):

  • 產(chǎn)品尺寸:900 mm x 650 mm x 750 mm
  • 重量:80Kg
  • 輸入電壓:110/220V 50/60Hz,20A
  • 真空:23 Hg or -0.8 bar
  • 卡盤X-Y軸軌道:NEMA 17步進(jìn)電機(jī),光學(xué)線性編碼器
  • 行程:105*105mm
  • 速度:50mm/s(大)
  • 平面性:±6μm
  • 分辨率:0.1μm
  • 重復(fù)性:±0.5μm
  • 精度:±3um
  • 卡盤Z軸軌道:行程:15mm
  • 分辨率:0.5μm
  • 重復(fù)性:±1.5μm
  • θ移動(dòng):行程:±4°(可定制)
  • 分辨率:0.0008°
  • 卡盤類型:真空或機(jī)械夾緊,圓形或方形,三軸,高頻,高壓/高電流,高低溫等
  • 壓盤:鋁和不銹鋼頂部,可拆卸前楔
  • 360度機(jī)械手放置
  • 壓盤位移:可選擇固定和線性調(diào)節(jié)
  • 線性調(diào)節(jié)范圍:40mm粗調(diào),200um微調(diào)

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái) 可選配件:

包括探針卡,操縱器,操縱臂和基座, 探針,激光,光學(xué)部件,CCTV 系統(tǒng),隔振臺(tái),暗箱。

SemiProbe半自動(dòng)探針臺(tái)-半自動(dòng)晶圓探針臺(tái)-光電探針臺(tái)

標(biāo)簽:手動(dòng)探針臺(tái)探針臺(tái)隔振隔振臺(tái)


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