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膜厚測量儀

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膜厚測量儀

通過薄膜表面與基底材料反射光的干涉現(xiàn)象,可快速可靠地測量半透明及透明膜的厚度。非接觸式測量,不會(huì)破壞測試樣品。

NanoCalc測試系統(tǒng)主要包括:寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、樣品測試臺(tái)及測量分析軟件。NanoCalc膜厚測量儀適合于在線膜厚測量,包括氧化層、氮化硅薄膜,感光膠片及其它類型的薄膜,NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗膜涂層。

NanoCalc膜厚儀基本性能:

基本型號(hào):NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR

光譜范圍:250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)
膜厚分辨率:0.1nm
測量時(shí)間:100ms~1s
多達(dá)10層膜厚測量
快速響應(yīng):在線測量
基底材料:鋼///陶瓷/塑料等
新型號(hào):NanoCalc-MIK中整合攝影機(jī)
材料庫: 400種材料的nk值且可添加
應(yīng)用場合:氧化物/SiNx/感光保護(hù)膜/半導(dǎo)體膜


NanoCalc膜厚儀應(yīng)用軟件
膜厚測量/n&k值測量
用戶自定義材料層結(jié)構(gòu)
自動(dòng)調(diào)整積分時(shí)間
層材料信息分層顯示

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