自動橢圓偏振測厚儀；光源：He-Ne激光器 632.8nm；入射角范圍：20°to 90°，5°/步；測量膜厚厚度：1-10,000nm；折射率范圍：
自動橢圓偏振測厚儀；光源：He-Ne激光器 632.8nm；入射角范圍：20°to 90°，5°/步；測量膜厚厚度：1-10,000nm；折射率范圍：0-100；樣品尺寸：1-160mm；
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