ZYGO 大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機經過擴束為大口徑系統，通常為雙通道，即4英寸測量通道和大口徑測量通道，具有多種高精度測量模式，如相位調制、波長調制、動態測量等。
? 激光干涉儀主機(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調制主機)
? MUX分光器（光束轉換器）
? 擴束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選）
? 機械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調制測量技術
? 參考光束-透射平板和參考平板是光學系統必需的附件
? 調整架-用于調整參考光束和測試光束的位置
大口徑激光干涉儀系統組件可以與干涉儀主機分開購買，如果您需要系統測量和配置方面的具體信息請
|
|
|
|
|
|
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
