概述（Summary）
等離子清洗機(Plasma cleaner)，也稱為等離子表面處理設(shè)備，或者稱為等離子表面活化設(shè)備，通過激勵電源產(chǎn)生等離子體，等離子作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性，增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。
等離子體清洗機 Plasma表面活化改性蝕刻適用于企業(yè)產(chǎn)品批量生產(chǎn)，其腔體容量大，可設(shè)計性更強，可滿足對大部分產(chǎn)品表面處理需求。優(yōu)點：機架緊湊，性能全面，處理效果均勻穩(wěn)定，而且配置靈活，性價比高。
二·應(yīng)用（Application）
等離子清洗廣泛應(yīng)用于膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜等等場合，通過等離子體作用于產(chǎn)品表面，去除產(chǎn)品表面的有機污染物，提高產(chǎn)品表面活性，以及激活表面性能，能明顯改善產(chǎn)品后續(xù)工藝的膠粘、焊接、印刷、涂覆、鍍膜的附著力和良品率。已經(jīng)成為中產(chǎn)品表面性能處理的重要工具。
（1）LED（LED在焊線時表面附著力往往是很低的，如不對表面做處理會存在焊線不牢等現(xiàn)象，所以焊線前需做等離子處理，提高產(chǎn)品的附著力，避免焊線不牢、易掉等問題）
（2）觸摸屏（觸摸屏油墨面需要與其他部件進行貼合、觸摸面則需要進行，鍍膜面、油墨面處理，提高油墨面、鍍膜面貼合力，避免貼補不牢，鍍層易磨損易掉等問題）
（3）金屬（部分金屬制品表面需鍍金銀層，金屬表面未經(jīng)過處理表面貼合力不夠，導致鍍層不牢、不均勻等現(xiàn)象，等離子處理可增加金屬表面附著力、提高表面均勻性，避免鍍層不均勻、易脫落等問題）
（4）攝像頭模組（攝像頭模組需要進行貼合、密封，等離子能對其表面進行有效的活化提高表面貼合力）
（5）FPC（FPC表面也會存在焊接不牢的現(xiàn)象，等離處理可提高其表面附著力，增加FPC本身的貼合力）
（6）醫(yī)用硅膠（用于醫(yī)用的硅膠需要具備適當?shù)母街Γ饶芎芎玫馁N敷在皮膚表面又不會因為附著力太強而導致與皮膚貼敷太緊，所以需要處理控制性能比較強的表面處理設(shè)備，真空等離子具備*的可控制性，處理效果穩(wěn)定，極為環(huán)保的處理方式無疑是最佳的選擇）
（7）隱形眼鏡（隱形眼鏡表面需要做比較精密的鍍膜處理，如果表面處理不得當會導致用戶體驗不佳直接影響產(chǎn)品的品質(zhì)，所以對表面處理及鍍膜工藝要求非常苛刻）
（8）尼龍材料（部分尼龍材料表面需要做貼合點膠工藝，但尼龍材料本身的附著力并不是很理想，所以在進行貼合或點膠前需先對材料表面做活化處理才能達到貼合/點膠的工藝要求）
三·等離子清洗原理（Principle）
1、等離子清洗的原理：對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，達到對材料表面清洗、蝕刻、活化等效果。等離子體清洗機 Plasma表面活化改性蝕刻
（1）對材料表面的刻蝕作用--物理作用：
等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。
（2）激活鍵能--交聯(lián)作用：
等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。
（3）形成新的官能團--化學作用：
如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會發(fā)生復雜的化學反應(yīng)，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。
2、真空等離子設(shè)備原理：等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為四大部分組成：控制系統(tǒng)、激勵電源系統(tǒng)、真空腔體、工藝氣體系統(tǒng)、以及真空泵系統(tǒng)。
（1）控制系統(tǒng)：
控制系統(tǒng)的功能在于控制整個設(shè)備的運行，包括人機界面（觸摸屏）、PLC、電氣電路。采用全自動控制系統(tǒng)的真空等離子清洗，可實現(xiàn)多種模式多種程序?qū)η逑丛O(shè)備進行控制，滿足不同客戶的需求。
（2）激勵電源系統(tǒng)：
激勵電源主要有三類：40KHz的中頻激勵電源，13.56MHz的射頻激勵電源，2.45GHz的微波激勵電源。目前業(yè)界主要采用的是射頻激勵電源和中頻激勵電源。各自應(yīng)用場合不同。
（3）真空腔體：
真空腔體主要是分為三種材質(zhì)的：1）鋁合金腔體，2）不銹鋼真空腔體，3）石英腔體。根據(jù)用戶的不同需求，可實現(xiàn)不同的放電模式和適用不同的樣品尺寸和產(chǎn)能。
（4）工藝氣體系統(tǒng)：
工藝氣體包括流量計、氣壓閥等，用戶可靈活選擇多路的工藝氣體方案，氬氣、氧氣、氫氣、氮氣、四氟化碳等，可滿足不同工藝方案要求。清洗各種產(chǎn)品表面。
（5）真空泵：
真空泵分為油泵、干泵、羅茨泵，油泵主要采用雙級旋片泵，根據(jù)用戶所采用的腔體體積、工作效率、環(huán)境要求來制定真空泵的方案。
