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VFT光纖過真空裝置可以將光導入或導出真空室,以實現超高真空的應用場合,例如半導體處理的光學監測和薄膜吸附的*終檢測。
VFT光纖過真空裝置可以將光導入或導出真空室,以實現超高真空的應用場合,例如半導體處理的光學監測和薄膜吸附的*終檢測。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測真空環境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學反應! 真空光纖饋通法蘭真空室導光半導體應用
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在隔空箱和高壓應用場合下有較好的表現,真空度高達*大10 -7 mbar ,操作溫度高達300℃,真空室壁厚5-40mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現提高,VFT光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,使VFT在超高真空應用場合的表現得到提高。
VFT光纖過真空裝置除了在半導體和薄膜處理方面的應用,還是環境檢測、藥*學處理和光學涂層生產的理想工具。它還可以應用在分子束外延和化學物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優異的通管。 真空光纖饋通法蘭真空室導光半導體應用
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VFT光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。
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