（1）應用領域

●計量領域（平面平晶檢測）

●半導體工業（晶片檢測）

●大平板顯示（平面檢測）

●手機工業（背板檢測）

●光學加工（窗口玻璃檢測）

●高精度精密機械（平面元件檢測）

●LED工業（藍寶石襯底檢測）

●數據存儲和科研院校教學儀器等多種領域。

●平面平晶、窗口玻璃、光學平面、金屬平面、陶瓷平面等

●光滑表面面形的高精度快速測量，90°直角棱鏡和角錐測量。

                    （2）產品綜述

  無應力平面檢測干涉儀是高性能模塊化組合檢測干涉儀中的一種，它采用組合式激光干涉儀作為核心部件，主要用于高效檢測高精度平面。

  該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際水平, 采用更加簡便操作的俯式測量，擁有*的測量精度和測量重復性，突破了一等平面平晶限制，且其采樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有*的測量效率。

  此款干涉儀可廣泛應用高精度光學元件制造、計量檢測、生物醫學、航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域，具有廣闊的市場前景。

                   （3）平面平晶檢測干涉儀參數性能

◆材質均勻性

◆超精密平面/球面面形測量

◆光學系統裝調和校準

◆光學組件透射波前測量

◆光學均勻性測量

◆平行度測量

◆角錐角度測量

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