6英寸劃片機(jī)能對各種硬脆材料進(jìn)行切割或槽加工。如硅片鍺、玻璃、鐵氧體、鈮酸鋰、鉭酸鋰、磷化鎵、砷化鉀、磷砷化鎵氧化鋁及各類陶瓷等

J51152/ZF6英寸劃片機(jī)

劃片機(jī) 切割機(jī) 分切機(jī)

J51152/ZF6英寸劃片機(jī)主要技術(shù)規(guī)格：

硅片zui大加工尺寸：Ø152.4mm (6")

x軸　 (1)zui大行程：200mm (2)工作行程范圍：20~160mm (3)切割速度分兩級： a)進(jìn)給：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)進(jìn)給：1~300mm/s 回程：300mm/s

y軸　 (1)zui大行程: 160mm (2)zui小步進(jìn)距離:0.002mm (3)zui大步進(jìn)距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm

z軸　 (1)zui大行程19mm(以Ø 50刀盤為準(zhǔn)) (2)zui小步矩0.002mm

θ軸：手動旋轉(zhuǎn)：90˚±30"（可微調(diào)）

主軸轉(zhuǎn)速范圍：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)備尺寸mm(寬x深x高)：約906x1020x740

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