樣品臺(tái)尺寸

6英寸/8英寸/12英寸

水平旋轉(zhuǎn)

可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程

6英寸×6英寸/8英寸×8英寸/12英寸×12英寸

X-Y移動(dòng)精度

10μm/1μm

樣品固定

真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)

針座平臺(tái)

U型針座平臺(tái)，zuiduo可放置6-12個(gè)探針座

平臺(tái)升降

可快速升降10mm/可微調(diào)升降10mm

背電極測(cè)試

樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極

溫度范圍

負(fù)80°到正400°

溫控精度

0.01°/0.1°/1°

設(shè)備重量

約20KG/30KG

顯微鏡類型

單筒顯微鏡/體式顯微鏡/金相顯微鏡

放大倍率

16X-200X/20X-4000X

移動(dòng)行程

水平方向繞立柱旋轉(zhuǎn)/XY軸移動(dòng)4英寸，Z軸行程50.8mm

光源

外置LED環(huán)形光源/同軸光源

CCD

200萬像素/500萬像素/1200萬像素

X-Y-Z移動(dòng)行程

12mm*12mm*12mm

移動(dòng)精度

10μm/2μm/0.7μm/0.5μm

吸附方式

磁力吸附，真空吸附

線纜

同軸線/三軸線

漏電精度

10pA/100fA/10fA

固定探針

彈簧固定/管狀固定

接頭類型

BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子

針尖直徑

0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm

針尖材質(zhì)

鎢鋼；鈹銅