KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創(chuàng)立，Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學顯微技術的，從 1984 年開始一直到現(xiàn)在，近 30 年來，不斷推進高分辨 聲學檢測技術的創(chuàng)新，為半導體、復合材料、生物醫(yī)學領域，提供聲學檢測裝備和訂制化的技術解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學檢測技術歷史的活化石。

      KSI 公司一直專注于聲學顯微基礎技術的研究與開發(fā)，目標是朝更高精度、更高分辨率、更大的產(chǎn)能、設備更加、更加耐用方向發(fā)展。這也非常符合德國 人作風，專注、專業(yè)、一輩子只做好一件事。 2009 年開發(fā)的 FCT 低噪探頭技術，能極大地壓制探頭在水中運動掃描時所產(chǎn)生的水花，顯著提高聲學圖像的品質，并使設備能夠持續(xù)在高速狀態(tài)下進行工作， 而不會由于巨大的水花而導致對測試結果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學顯微系統(tǒng)，靈敏度可以達到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術更上一個新臺階，不需要外置濾波器即可對晶 圓級的缺陷進行高分辨檢測，既讓圖像更清晰，又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎技術研發(fā)的基礎上取得的進展。

• 掃描范圍適中：300mm x 300mm；

• 磁懸浮超高速機型；

• 掃描速度：2米/秒；

• 掃描加速度：30米/秒；

• KSI一臺機器相當于常規(guī)機器2臺的工作量。(常規(guī)機器小于1米/秒)；

• 高掃描重復精度：+/-0.1微米（常規(guī)機器只能做到0.5微米）；

• 低噪防誤判探頭（常規(guī)機器沒有，無法在高速掃描時去除水花導致的誤判）。

一、掃描機械機構 

(1) X、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機驅動

(2) X、Y軸一次掃描行程范圍：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）

(3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍：0.2mm×0.2mm

(4) 掃描速率：2000mm/s，掃描加速度30m/s2

(5) X、Y軸掃描重復精度±0.1um

(6) Z軸是高精度自鎖步進電機，行程：100mm

(7) Z軸電機重復精度：± 0.25μm

二、 掃描模式

(1) 點波形(A-Scan)

(2) 縱剖掃描(B-Scan)

(3) 橫剖掃描(C-Scan)

(4) 斜剖掃描（D-Scan）

(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)

(6) 自定義多層橫剖掃描，可獨立設置不同層面的厚度等參數(shù)

(7) 透射掃描

(8) 順序掃描、托盤掃描、高質量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描（實體掃描）

(9) 其它 

三、 脈沖信號收發(fā)器和換能器

(1) 掃描工作模式：單通道工作模式

(2) 脈沖信號收發(fā)器帶寬：5MHz～550MHz

(3) 總增益：150dB 

四、 主要功能

(1) 測試被測工件內(nèi)部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等；

(2) 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數(shù)一致的聲學顯微圖像；

五、 其它指標

(1) 保存圖像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式)；

(2) 圖像采樣像素：32000×32000像素 ，可以自定義輸入圖像分辨率或單個像素尺寸，由設備自動計算所用的圖像分辨率。