Nova 系列掃描電子顯微鏡 (SEM) 具有低真空功能，是滿足研究實驗室、半導體和數據存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學實驗室及其他行業各種成像、分析和樣品制備需求的理想之選。 Nova 系統包含 EBIC、冷凍樣品臺、STEM、EDS、WDS 和 EBSD。精確真實的納米尺度信息，**的高電壓和低電壓襯度，100 V 以下的高分辨率成像，快速分析，使用低真空對大多數帶電或污染樣品進行超高分辨率研究。這些均為 Nova™ NanoSEM 場發射掃描電鏡多年前即已具備的基本特征。

Nova NanoSEM系列產品除的光學（包括雙模*終透鏡）、SE/BSE（二次電子/背散射電子）透鏡內探測和射束減速的強大組合功能之外，采用了**一代高靈敏度伸縮式 SE/BSE 和 STEM 探測器的全新套件，并具備多功能SE/BSE 過濾功能，****地優化重要信息。智能掃描模式可用于****減少假像。樣品清潔對于低電壓高分辨率成像至關重要，可使用 FEI 整合解決方案（使樣品表面免于碳氫化合物污染）加以維護。NovaNanoSEM 450 配置了** 200 nA 射束電流和大型電動傾斜樣品臺，分析能力因此也大幅提升。一切均不會影響 Nova NanoSEM 的高分辨率性能。

Nova NanoSEM 50 系列產品可使用其****的低真空能力表征或分析更多樣品，包括大多數非導電或污染材料。由于 FEI Helix™ 探測器技術，低真空表征可一直擴展至超高分辨率。大小樣品均可輕易置入大型樣品室，并置于 Nova NanoSEM 高度精確且穩定的樣品臺上。此外，高清相機和相關導航裝置可幫助迅速發現興趣所在區域并移至相應區域。

至于 nanoprototyping，Nova NanoSEM 50 系列產品可提供***的整合工具**，包括 16 位板載數字圖案生成器和**制圖軟件、高速靜電射束熄滅裝置以及用于直接電子束寫入式納米結構的氣體注射系統。Nova NanoSEM 650 樣品臺配置了壓電驅動馬達，可在 150 x 150 mm 移動范圍內實現更細致且更高的 XY 可重復性。

性能特點

場發射 SEM、超穩定高電流 Schottky 電子*
的光學和探測技術，包括沉浸模式、射束減速、透鏡內 TLD-SE 和 TLD–BSE、DBS 和 STEM，可實現**信息選擇和圖像優化
低至 50 V 的射束著陸能量
1.4 nm @ 1 kV、無射束減速
**真正高分辨率的低真空 FESEM： 1.8 nm @ 3 kV 和 30 Pa
高達 200 nA 的高真空或低真空分析
整合式 16 位掃描/制圖引擎
超潔凈、無油滾動和渦輪抽氣真空系統
150 x 150 mm 高精密、高穩定壓電樣品臺 (Nova NanoSEM 650)

應用領域

實驗室、半導體和數據存儲實驗室和制造工廠、生物和生命科學實驗室及其他行業各種成像、分析和樣品制備需求。