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美國Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

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D9650和上一代產品一樣提供了良好的精度和穩健性,增加了一個合并了PolyGate技術和Sonolytics的改進型的電子與軟件平臺。D9650是理想的用于失效分析、工藝開發、材料特性和小批量生產的工具。

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Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

美國Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡(圖1)

產品原理 :

利用不同材料對超聲波聲阻抗不同,對聲波的吸收和反射程度不同,來探測半導體、元器件的結構、缺陷、對材料做定性分析。



特點和優勢:

* 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術可以進行單一及多層自動聚焦成像

* 每頻道多達100個Gates

* Windows 10 Sonolytics 2 界面,64字節處理能力

* 線性馬達掃描儀可掃描JEDEC托盤

* 帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架,更加精準

* 方便使用掃描區域使安裝、拆卸更加方便,可以掃描JEDEC托盤或300mm晶圓片

* 定量的B-Scan是Sonoscan的分析模式(Q-BAM)

* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖,并帶有準確的極性、幅值和深度數據



Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是新一代聲學顯微圖像(AMI)技術革新的一部分。無論你需要用于失效分析、工藝開發、材料特性和小批量生產或其它的試驗室檢查,D9650都會提供優秀的能力。


的Sonoscan 功能增加了價值和信心,比如Visual PolyGate、移動地圖、像素間距等等。具有的大尺寸、容易進入的且有燈光照明的掃描區域,以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來快速的掃描任何樣品,包括從單個器件到兩個JEDEC托盤的器件。


廠務需求

通用電壓 - 90V到250V AC,單相,50/60 Hz,15安培(120V)

外形–直式桌子:長寬高 1.89 x 0.74 x 1.58 m (74.5 x 29.0x 61.9 英寸)



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