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蔡司鎢燈絲電子顯微鏡

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商品說明

掃描電子顯微鏡
SEM3100

SEM3100具有出色的成像質量和豐富的擴展性,將鎢燈絲掃描電子顯微鏡的可用性、易用性發揮到。分辨率可達3 nm,超大樣品倉,可容納直徑為370 mm的樣品,以及諸多細節功能設計和特色功能,助您在顯微成像的世界中盡情探索。


商品參數

高性能高指標

SEM3100是一款高性能的掃描電子顯微鏡,擁有超高的分辨率和出色的成像質量。放大倍率連續可調,在不同的視場范圍下均可得到高亮度的清晰圖像。大景深,成像富有立體感。配備的超大樣品倉和低電壓模式,極大地擴展了SEM3100的應用范圍。

分辨率

3 nm @ 30kV, SE

放大倍率

1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)

圖像保存

像素,6144 x 4096

加速電壓

1 kV ~ 30 kV

樣品尺寸

直徑370 mm,高73 mm

出色的成像效果

錫球

乙酰檸檬酸三乙酯

鈷酸鋰

低電壓

毛發,加速電壓3 kV

滌綸表面,加速電壓1 kV

纖維管表面缺陷,加速電壓1 kV

大視場、大景深、超大樣品倉

超大樣品倉

螺絲釘


豐富的擴展性

掃描電子顯微鏡不只用于表面形貌的觀察,還可以進行樣品表面的微區成分分析。SEM3100擁有超大的樣品倉,接口豐富,除支持常規的二次電子探測器(ETD)、背散射電子探測器(BSED)、能譜儀(EDS)外,也預留了諸多接口,諸如電子背散射衍射(EBSD)、波譜儀(WDS)、陰極熒光(CL)等探測器都可以在SEM3100上進行集成。

背散射探測器

二次電子成像和背散射成像對比。背散射像下,樣品的荷電效應明顯減弱,并且具有很好的成分襯度,適合進行成分觀察。

能譜分析

水泥建筑材料SE和EDS分析結果,加速電壓15 kV
*微量Au元素為噴金后的鍍層

特色功能,更高的效率和更好的性能

光學導航

SEM3100標配的倉內攝像頭可拍攝高清樣品臺照片,助您快速定位樣品。

旋鈕控制板和鼠標手勢

可通過旋鈕控制板或鼠標滾輪/手勢快速調節聚焦和像散等參數,極大地提高成像效率。

動態圖
結果圖

動態像散

直觀反映像散程度,通過鼠標點擊即可快速調節像散至。

動態圖
結果圖

快速調節圖像旋轉

拖動一條線,圖像立刻“擺正角度”。

細節設計,追求的易用性

人性化的軟件設計

所有控制功能集成在一個軟件界面上,純中文的操作界面,功能設計簡單易懂。無論是否有經驗的用戶,簡單的了解后都可以快速上手。

30分鐘自動休眠

30分鐘無操作,SEM3100會自動進入休眠模式,停止掃描并將電子束關閉,減少燈絲損耗,延長使用壽命。

換樣方便

拉開式倉門,給換樣操作留出寬闊的空間。也為倉內清潔維護提供了方便。

面板功能按鈕

機身正面設計的啟動和放氣按鈕組合可快速換樣,拍樣完成后按下待機按鈕可一鍵待機!

優中心樣品臺和真空電機

支持優中心傾斜①樣品始終處于電子束下方,不同傾斜角度下,可獲取更豐富的形貌和成分信息。同時倉內真空電機②簡化了傳動結構,減少了真空漏氣可能性。

燈絲狀態自動監測

自動檢測燈絲使用時間,以及燈絲工作狀態。讓您測樣和實驗安排“心中有數”。

防碰撞技術

采取多維度的防碰撞方案:1. 手動輸入樣品高度,精準控制樣品與物鏡下端距離,防止發生碰撞;2. 基于圖像識別和動態捕捉技術,運動過程中對倉內的實時畫面進行監測;3. 樣品臺硬件防碰撞,可在碰撞一瞬間停止電機,減少碰撞損傷。

三級減震

創新性的三級減震設計,可較好的過濾來自地面傳來的低頻震動。同時,通過良好的工程設計,大幅減少了SEM3100自身運行產生的震動。

備注:
1、僅選配的五軸樣品臺支持; 2、標配真空電機。

SEM3100應用案例

電極箔截面

三元正極

鈷酸鋰

摻鋁四鈷

鈦金屬

硅碳負極材料

聚偏氟乙烯1

聚偏氟乙烯2

微流控芯片1

微流控芯片2

氧化鋁

多孔氮化硼陶瓷

泡沫鎳基底

表面氫氧化物附著

濾紙

碳材料

聚苯乙烯微球

纖維素管截面

微型探針表面

紡絲

參數

電子光學系統
分辨率
3 nm @ 30 kV
放大倍率
1~300,000 x (底片倍率)
1~1000,000 x (屏幕倍率)
加速電壓
1 kV~30 kV
電子槍類型
預對中型發叉式鎢燈絲電子槍
成像系統
探測器(標配)
二次電子探測器 (ETD)
探測器(選配)
背散射電子探測器、能譜儀EDS等
圖像尺寸
≤ 6144 x 4096 像素
圖像保存格式
TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
控制方式
全自動閥
渦輪分子泵
240 L/S
機械泵
12 m3/h(50 Hz)
攝像頭
光學導航
樣品倉內監控
樣品室真空度
高真空下優于9 X 10-4 Pa
樣品臺配置
三軸自動(標配)
五軸自動(選配)
行程
X: 100 mm
X: 115 mm
Y: 100 mm
Y: 115 mm
Z: 60 mm
Z: 65 mm
/
R: 360°
/
T: -10°~ +70°
樣品尺寸
直徑:370 mm, 高:68 mm
直徑:370 mm, 高:73 mm
軟件
語言
中文
操作系統
Windows
導航
光學導航,手勢快捷導航
自動功能
自動亮度對比度,自動聚焦
特色功能
動態像散
安裝要求
房間
長 ≥ 3000 mm,寬 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm
門寬
寬 ≥ 900 mm,高 ≥ 2000 mm
溫度
20 ~ 25 ℃
濕度
≤ 50%
噪聲
≤ 45dB
電氣參數
電源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA
地線
獨立地線一條,小于4 Ω
交流磁場
< 100 nT




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