X軸1、測量范圍：0～200mm

X軸
1、測量范圍：0～200mm；
2、示值誤差：±(1.2+2L/100)μm，其中L為水平測量長度，單位：mm；
3、分辨率：0.01μm；
4、直線度：2μm/200mm
5、測量速度：0.1～5mm/s；
6、移動速度：0～80mm/s；
Z軸
1、測量范圍：0～450mm；
2、移動速度：0～30mm/s；
3、Z0軸
1、測量范圍：±25mm；
2、示值誤差：±(2+|2H|/40)μm，其中H為垂直測量高度，單位：mm；
3、分辨率：0.01μm；
4、測量力：10～150mN；
5、爬坡能力：上坡77o，下坡83o；
6、儀器尺寸（長×寬×高）：800×450×1000（mm）；