UGAPM 系列過(guò)程監(jiān)測(cè)系統(tǒng)是為分析過(guò)程氣體而設(shè)計(jì)的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（約5x10 -5  mbar L/sec）連續(xù)采樣氣體，使儀器成為在線分析的理想選擇。

UGAPM 應(yīng)用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測(cè)/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析（0.1 mL范圍）等。

這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以從前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制。在 UGAPM 系統(tǒng)中，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細(xì)管來(lái)適應(yīng)中真空采樣。使用這種配置，處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零。

工作原理

UGAPM 系統(tǒng)使用單級(jí)毛細(xì)管減壓入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后，氣流被送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀——RGA），該質(zhì)譜儀測(cè)量每個(gè)目標(biāo)質(zhì)量的濃度。

UGAPM Windows 軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個(gè)圖形用戶(hù)界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門(mén)、加熱器和泵。

多毛細(xì)管入口

可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置，可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置，可適用于不同量程的樣品壓力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系統(tǒng)可以通過(guò)前面板或計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動(dòng)或自動(dòng)控制選擇。

使用 UGAPM 軟件測(cè)量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶(hù)界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計(jì)劃在時(shí)間采集數(shù)據(jù)。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時(shí)間圖、泄漏檢測(cè)、氣體庫(kù)和在線幫助。

RGA 參數(shù)也可以通過(guò)高級(jí) ASCII 命令等進(jìn)行控制和監(jiān)視。標(biāo)準(zhǔn) RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路。

最

UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統(tǒng)的價(jià)值。它們提供更高的性能、更好的功能，并且價(jià)格遠(yuǎn)低于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。