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3C非接觸式球徑儀

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精密測(cè)量球面的曲率半徑的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。該儀器的測(cè)量原理是基于光學(xué)球面的頂點(diǎn)反射和表面反射成像原理而設(shè)計(jì)的。由于采用精密導(dǎo)軌和精密測(cè)長(zhǎng)光柵尺,以及非接觸式的測(cè)量方法,保證了球面曲率半徑的微米級(jí)測(cè)長(zhǎng)精度,并避免接觸測(cè)量所引入的測(cè)量誤差及表面劃傷。

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  • 精密測(cè)量球面的曲率半徑的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。該儀器的測(cè)量原理是基于光學(xué)球面的頂點(diǎn)反射和表面反射成像原理而設(shè)計(jì)的。由于采用精密導(dǎo)軌和精密測(cè)長(zhǎng)光柵尺,以及非接觸式的測(cè)量方法,保證了球面曲率半徑的微米級(jí)測(cè)長(zhǎng)精度,并避免接觸測(cè)量所引入的測(cè)量誤差及表面劃傷。

    儀器特色

    非接觸測(cè)量 重復(fù)性好精度高 操作十分簡(jiǎn)單

    工作原理

    本儀器是利用自準(zhǔn)直顯微鏡分別瞄準(zhǔn)被測(cè)球面的球心和頂點(diǎn)表面,經(jīng)球面反射后分別獲得的自準(zhǔn)直像的二者距離進(jìn)行測(cè)量的。顯微鏡測(cè)量系統(tǒng)是采用高精度直線導(dǎo)軌移動(dòng) , 讀數(shù)系統(tǒng)采用分辨率高達(dá) 0.001mm 高精度直線光柵測(cè)量得到的。

     

    測(cè)量范圍

    曲率半徑測(cè)量范圍: 凸面 R ≤ 30mm

    凹面 R ≥ 25 至 1000 mm

    被測(cè)透鏡夾持直徑: ¢ 5~ ¢ 150 mm

     

    球面半徑測(cè)量精度

    0~ 200mm 范圍內(nèi):± 0.003mm ;

    ≥ 200mm 范圍為:± 0.008mm ,

    滿足樣板精度要求: ≤ 0.02%R(R ≥ 50 時(shí) )

     

    瞄準(zhǔn)顯微鏡物鏡

    類別 放大倍數(shù) 數(shù)位孔徑 NA 瞄準(zhǔn)誤差(μ m ) 工作距離( mm ) 測(cè)量范圍( mm )
    消色差

     

    物鏡

    4 X

    0.1

    44

    38.0

    R ≥ 500

    10 X

    0.25

    7

    7.31

    R ≥ 100

    40 X

    0.65

    1

    0.50

    R ≥ 25

     

    儀器讀數(shù)系統(tǒng)與規(guī)格

    ◆采用 1 米計(jì)量光柵讀數(shù),最小示值: 0.001mm

    ◆電源: 220V

    ◆儀器外形尺寸: 1400*300*590mm

    ◆儀器重量: 50 kg


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