AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。穩定且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和穩定運行。
| AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。穩定且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和穩定運行。
主要特性： 人機工程學設計，操作方便 · 可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。 · 分別對應FOUP（Load Port）和FOSB的兩種機型。 堅固、可靠和穩定傳送 · 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和穩定性，能夠穩定可靠的傳送300 mm晶圓。 · 薄片，Warped晶圓皆能穩定搬送。 · 宏觀觀察位置的較優化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作流暢性。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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