CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

測量范圍

X 軸

100mm

200mm

Z1 軸(檢出器)

60mm (水平位置±30mm)

Z2 軸 (立柱) 移動范圍

300mm

500mm

300mm

500mm

Z1 軸(檢出器)

光柵尺類型

弧形

分辨力

CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm

測針上/ 下運作

弧形移動

測量方向

向前/ 向后

測針方向

CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨測量)

CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據(jù)配重調整)

測力

CV-3200 系列: 30mN (上下可連續(xù)測量)

CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據(jù)軟件轉換)

跟蹤角度

向上: 77o, 向下: 83o(根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面測針*1)

驅動部

長度基準

X 軸

激光全息光柵尺

Z2 軸 (立柱)

ABS 光柵尺

分辨力

X 軸

0.05 μm

Z2 軸 (立柱)

1 μm

驅動速度

X 軸

0 - 80mm/s 外加手動

Z2 軸 (立柱)

0 - 30mm/s 外加手動

測量速度

X 軸

0.02 - 5mm/s

直線度*2

X 軸

0.8μm/100mm

2μm/200mm

傾角范圍

X 軸

±45°

精度(20oC)

CV-3200 系列

X 軸

±(0.8+0.01L)μmL = 驅動長度 (mm)

±(0.8+0.02L)μmL = 驅動長度 (mm)

寬范圍:1.8μm/100mm

寬范圍:4.8μm/200mm

窄范圍:1.05μm/25mm

窄范圍:1.3μm/25mm

Z1 軸(檢出器)

±(1.6+|2H|/100)μm H = 水平位置上的測量高度 (mm)

CV-4500 系列

X 軸

±(0.8+0.01L)μmL = 驅動長度 (mm)

±(0.8+0.02L)μmL = 驅動長度 (mm)

寬范圍:1.8μm/100mm

寬范圍:4.8μm/200mm

窄范圍:1.05μm/25mm

窄范圍:1.3μm/25mm

Z1 軸(檢出器)

±(0.8+|2H|/100)μm H = 水平位置上的測量高度 (mm)

外形尺寸 (W×D×H)

主機*3

756×482x966mm

756×482x1166mm

1156×482x1176mm

766×482x966mm

766×482x1166mm

1166×482x1176mm

重量

主機

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg