★家在共聚焦顯微鏡上采用３個線型CCD方式,業內的1200萬畫素（400萬畫素×RGB）的高畫質、顏色再現性的圖像

★ 家在共聚焦顯微鏡上采用３個線型CCD方式, 業內的1200萬畫素（400萬畫素×RGB）的高畫質、顏色再現性的圖像；
★ 業界的掃描速度，120幀/sec的高速掃描；

★ 可以進行分別基于R、G、B的圖像信號的表面形狀測定以及形狀解析，進一步也可以獲得深焦點圖像（焦點移動記憶方式）；

★ 本裝置在進行表面形狀測定時，能夠作到非接觸、非破壞測定，測定精度高、處理速度快，（或在高生產率的條件下）可以實現高效的測定。

★ 分辨率可達0.15um；