| 安裝 | 雷尼紹自動吸附：PH10M、PH10MQ或PH6M 可安裝在自動吸附加長桿上 |
| 適合的接口 | 可以是：UCC控制器 或：用于未安裝UCC控制器的機器的AC3計算機接口卡 |
| 測頭屬性 | 三軸模擬測量 (X, Y, Z) SM25-5：在三個軸XYZ方向均有平面平移 |
| 測量范圍 | 在X、Y和Z方向為±0.5 mm SM25-5：±0.3 mm |
| 超程范圍 | 在X和Y方向為±2.0 mm SM25-5： |
| 碰撞保護 | X, Y, –Z — 模塊或測針架折斷 +Z — 內置緩沖塊設計 |
| 分辨率 | 使用UCC2子卡或AC3接口卡時< 0.1 μm |
| 彈簧剛性 | 標稱值為0.2 N/mm到0.6 N/mm，取決于測針長度 |
| 減振 | 單個粘性流體減振器 SM25-5：兩個粘性流體減振器 |
| 電源 | 測頭為+12 V (±5%)、–12 V (+10% / –8%)、+5 V (+10% / –13%) 直流電 |
| 輸出 (X,Y,Z) | 非線性及非正交模擬輸出 — 速率、增益和分辨率不固定 |
| 測針系列 | M3 |
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