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MJM系列測量金相顯微鏡

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測量型金相顯微鏡產品用途測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器

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測量型金相顯微鏡
產品用途
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統,可人工觀察金屬表面的金相組織結構,是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。
產品特點
● X、Y、Z軸0.5μm分辨率;
● 可選配白光納米檢測模組;
● Z軸粗調/微調旋鈕;
● 同軸表面光/底光測量;
● 內建偏光量測光學模塊;
● 可量測透明材質納米級高度差
規格型號
MJM-1510M
MJM-2010M
工作行程X、Y、Z軸
150*100*120(mm)
200*100*120(mm)
金屬臺尺寸
210*160(mm)
260*160(mm)
玻璃臺尺寸
354*228(mm)
404*228(mm)
光學尺分辨率
0.5μm
示值誤差
X、Y坐標≤(3+L/75)μm (L為測量長度,單位mm)
影像系統
彩色1/2"CCD攝像機;640*480像素;結合測量軟件
顯微鏡系統
目鏡:10倍
濾光片:紅,藍,綠,白
測量模式:反射,透射,偏光
5孔物鏡轉換器
物鏡放大倍率誤差
包括畸變在內的放大率誤差≤0.008%
總放大倍數
50X——500X
照明系統
透射照明光源:白光LED,亮度可調
同軸照明光源:鹵素燈,亮度可調
物鏡
倍率
5X
10X
20X
50X
工作距離(mm)
26.1
20.2
8.8
3.68
高度量測模塊(選配件)
光干涉高度量測模塊(M10-CA),高度量測分辨力0.5μm(選配)
倍率:10X,工作距離5mm,光學分辨力2μm
其它參數
外形尺寸(mm)
590*560*850
儀器重量(kg)
100
110
電源功耗
110V—220V 50/60Hz <>

單層透明膜厚度測量模式
高精度測量模式
快速測量模式
厚度測量范圍
100nm-300nm
300nm-500nm
500nm-3μm
3μm-20μm
分辨力
5nm
5nm
7.5nm
0.1μm
 


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