型號：ASR-VMS-6050工作臺X/Y軸行程600MM*500MMZ軸行程有效空間235mm,調(diào)焦行程250mm

型號：ASR-VMS-6050
工作臺 X/Y軸行程 600MM*500MM
Z軸行程 有效空間235mm,調(diào)焦行程250mm，工作距離105mm
大理石臺面尺寸 650MM*550MM
玻璃臺面尺寸 450MM*350MM
傳動型式 傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導(dǎo)軌和中國臺灣進口滾珠螺桿 
測量伺服驅(qū)動系統(tǒng) 光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）        
測量精度：≤2.5UM+L/250 重復(fù)精度：≤2.5UM+L/250
X/Y/Z三軸合川高性能閉環(huán)伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)
影像系統(tǒng) 攝像機一：高分辨率彩色1/3CCD攝像機放大倍率30-230X  
攝像機二：海康威視200W像素高清相機                        
連續(xù)變倍鏡頭：普密斯高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X   
光源系統(tǒng) 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)
儀器外形尺寸（L*W*H） 800MM*950MM*1600MM
儀器重量（KG） 350KG