LFPLASMA系列產品概況廠家:天科創達產地:中國專為實驗室設計,適用材料清潔與活化可用于處理各種高分子材料,金屬,玻璃等表面規格參數設備型號PT-03-LFPT-05-LFPT-08-LF真空腔體130mm
LF PLASMA系列
產品概況
廠家:天科創達
產地:中國
專為實驗室設計,適用材料清潔與活化
可用于處理各種高分子材料,金屬,玻璃等表面
規格參數
設備型號 | PT-03-LF | PT-05-LF | PT-08-LF |
真空腔體 | Φ130mm; D160mm | Φ150mm; D260mm | Φ210mm; D260mm |
射頻電源 | 100W;40KHz | 200W;40KHz | 100W;40KHz |
150W;13.56MHz | 150W;13.56MHz | ||
真空計 | 1×10-2~1×105 | 1×10-2~1×105 | |
流量計 | 1通道浮子流量計 | 2通道浮子流量計 | 2通道MFC |
工藝氣體 | 氧氣,氬氣,氫氣,氮氣等 | ||
控制方式 | 半自動 | 手動/自動 | 手動/自動 |
人機界面 | 7寸觸摸屏 | 10寸觸摸屏 | |
主機尺寸 | 550(W)×450(D)×260(H) | 485(W)×650(D)×525(H) | 600(W)×800(D)×1800(H) |
真空泵 | 可選干泵或油泵 | ||
安裝條件 | AC220V;50/60Hz;2Phase 3Wire;1KVA | ||
其他說明 | 有單獨通風泄壓通道,設備相關配置可按要求定制 |
設備特點
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