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- 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 武漢市
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/11/14 16:26:08
- 訪問(wèn)次數(shù) 35
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RTP-3-08系列自立式8吋快速退火爐采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)大尺寸樣品(8英寸)快速升溫和降溫,可用于快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、快速熱氧化(RTO)、快速熱氮化(RTN)及金屬合金化等半導(dǎo)體工藝。
RTP-3-08的產(chǎn)品特點(diǎn)
可測(cè)大尺寸樣品:可測(cè)單晶片樣品的尺寸為8英寸(200mm)。
壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì):高精度控制壓力,以滿足不同的工藝要求。
存儲(chǔ)熱處理工藝:方便工藝參數(shù)調(diào)取,提高實(shí)驗(yàn)效率,數(shù)據(jù)可查詢。
快速升溫:升溫速率可達(dá)150℃/s。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展:可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制,進(jìn)行降溫段的自動(dòng)轉(zhuǎn)接,并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存,方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量,最多可支持4路氣體,實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境(真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等)下的熱處理。
全自動(dòng)智能控制:采用全自動(dòng)智能控制,包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
超高安全系數(shù):采用爐門(mén)安全溫度開(kāi)啟保護(hù)、溫控器開(kāi)啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施,保障設(shè)備使用安全。
分區(qū)控溫:分區(qū)域控制加熱功率,提高溫度均勻性。
國(guó)產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求。
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