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TCS-A型電渦流在線研磨厚度測控儀

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TCS-A型電渦流在線研磨厚度測控儀本測厚儀系統共由四大部分組成,在厚度精密研磨加工過程中進行厚度控制,從而實現研磨過程的自動化

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TCS-A型電渦流在線研磨厚度測控儀
TCS-A型電渦流在線研磨厚度測控儀

本測厚儀系統共由四大部分組成,在厚度精密研磨加工過程中進行厚度控制,從而實現研磨過程的自動化。

應用范圍:可用于對碳化硅、硅、鍺、砷化鎵、藍寶石、鉭酸鋰、鈮酸鋰、光學水晶及光學玻璃等非金屬貴重材料的厚度研磨控制。

測量精度:±3μm

傳感器解析精度:<±1μm(微米級)

工作范圍:工件厚度不超過16000μm(超過此厚度時需要更換傳感器)

結構外形、尺寸及重量(附圖片)

序號

結構名稱

圖片展示

外形尺寸(mm)

重量(kg)

1

測厚儀本體

見圖一、圖二

320W×120H×220D

4.75

2

傳感放大器模塊

見圖三

210W×75H×160D

3.5

3

傳感器位置調節模塊

見圖四、圖五

120W×152H×89D

2.2

4

8極水銀滑動環及夾具

見圖六、圖七

Φ40×70H

0.25

電源供給:AC100/220V    50/60Hz     1.5A



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